簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "郭鴻飛".cadvisor (精準) and year="105"


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    1

    基於粒子群多目標最佳化演算法實現光罩光源同步最佳化
    • 自動化及控制研究所 /105/ 碩士
    • 研究生: Zendhiastara Arthananda Yudhi 指導教授:
    • 本論文將粒子群多目標最佳化(MOPSO)演算法整合到光源和光罩同步優化(SMO)過程中,以增強極紫外(EUV)光刻成像的性能。本研究開發了同步處理光源和光罩圖案的方法。對於自由形式的光源結構基於像素…
    • 點閱:1646下載:1

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    結合蟻群演算法與神經網路演算法所優化之光源模態以強化微影成像效能
    • 自動化及控制研究所 /105/ 博士
    • 研究生: 李國華 指導教授:
    • 幾十年來半導體工業仰賴微影光學將電路圖案之設計轉印至晶圓基板上,隨著電路設計圖樣日益縮小,目前已逼近至微影製程的光學極限,解析度增強技術(resolution enhancement techniq…
    • 點閱:1238下載:14

    3

    以數位微影定義非平面圖案之開發
    • 自動化及控制研究所 /105/ 碩士
    • 研究生: 高貫軒 指導教授:
    • 曝光微影技術是印刷電路板(printed circuit board, PCB)製程中的重要技術之一,近年來製程中對精密度要求不斷提高,並要求更高解析度更小的線寬,使得傳統接觸印刷製程之缺點越來越明…
    • 點閱:1775下載:10
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